电子扫描显微镜（SEM）的工作原理?

来源：学生作业帮助网编辑：作业帮时间：2024/04/29 10:58:25

电子扫描显微镜（SEM）的工作原理?
电子扫描显微镜（SEM）的工作原理?

电子扫描显微镜（SEM）的工作原理?
扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像.试样为块状或粉末颗粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子.其中二次电子是最主要的成像信号.由电子枪发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描.聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射（以及其它物理信号）,二次电子发射量随试样表面形貌而变化.二次电子信号被探测器收集转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像.
示意图：
http://www.science.globalsino.com/1/images/1science9682.jpg

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