太阳能电池片等离子体化学气相沉积法（PECVD）中的工艺问题!1,温度对硅片的影响!2,时间对硅片的影响?3,硅烷对硅片的影响?4,氨气对硅片的影响?5,RF功率与脉冲对硅片的影响?如果硅片发白怎

太阳能电池片等离子体化学气相沉积法（PECVD）中的工艺问题!1,温度对硅片的影响!2,时间对硅片的影响?3,硅烷对硅片的影响?4,氨气对硅片的影响?5,RF功率与脉冲对硅片的影响?如果硅片发白怎 谁知道等离子体辅助化学气相沉积（PECVD)英文全称是什么? 磁控溅射镀膜与等离子体化学气相沉积镀膜的区别?我就知道一个是物理气相沉积,一个是化学气相沉积,其他的都不是很了解,他们的具体原理上的区别? 有没有GS400-2型等离子体增强化学气相沉积设备?什么地方产的?价格是多少? 物理气相沉积法与化学气相沉积法有何区别 等离子体辅助化学气相沉积pevcd基片上加负偏压为什么效果不好,磁控设备用都可以.为什么.哪位大侠帮个忙我只加了氩气，辉光就不正常，等离子区向下，不加偏压，基片接地才能正常起辉 气相沉积 化学气相沉积中典型的化学反应有哪些? 解释一下化学气相沉积法制备纳米材料 气相沉积法的应用 化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜的反应原理化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜,其反应原理为什么?要化学方程式 什么是化学气相沉积法?它对对原料,产物和反应类型的要求有哪些 如果用化学气相沉积法在硅片上镀铝,请问最大厚度能够达到多少? 请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用?请问CVD（化学气相沉积）镀膜的原理及应用? 化学气相沉积和热蒸发法的区别是什么?看文献里制备ZnO纳米线,不管是热蒸发还是CVD,都是整一个水平管式炉,陶瓷舟里一边放前躯体一边放Si片,最终都是在Si片上长出ZnO纳米线.难道二者是同一 CVD（化学气相沉积）的原理及应用是什么 以下不是物理气相沉积法(PVD)所用到的技术是? 物理气相沉积涂覆工艺是什么 物理气相沉积法制膜包括哪些基本过程